超精密微加工

- 全閉環(huán)光柵加工精度可以達(dá)到0.003mm

- 具有“ 0.1μ 進(jìn)給和1μ 切削 ”能力

-微小特征加工。最小刀徑 0.1- 0.15mm

-鏡面加工效果，光潔度可以做到5nm